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开放合作至关重要 帮助中国半导体产业就是帮助全球

    证券时报记者 王一鸣

    

    全球“缺芯”背景下,为晶圆厂提供光刻设备的领先企业阿斯麦(ASML)在第四届进博会上的亮相颇受关注。

    在本届进博会上,ASML选择用3D裸眼视频展示光刻机内部不同模块之间的基本原理;并带来了“铁三角”光刻全方位解决方案,即以先进控制能力的光刻机台,计算光刻和电子束量测,通过建模、仿真、分析等技术,不断提高边缘定位精度,持续赋能每一代芯片的制造,提高芯片生产的良率和产能。

    ASML全球副总裁、中国区总裁沈波在接受证券时报·e公司记者专访时表示,今年是公司第三次参展,希望在进博会的平台上,让外界更直观地了解ASML;开放合作对构建复杂的半导体生态系统至关重要,是行业赖以生存和繁荣的基础,这与进博会主旨非常契合;作为产业链中的一员,ASML亦会继续秉承开放合作的精神去帮助客户、推动行业发展、创新。

    继续扩产需解决

    供应链瓶颈

    总部位于荷兰的ASML,目前每年投入约22亿欧元用于技术研发,占年销售额比例约15%。公司在全球16个国家的60个城市设有办公室,员工超过29000,包括中国员工1000多名。

    从行业情况来看,先进集成电路大规模生产线的投资可达100亿美元,75%以上是半导体设备投资,其中最关键、最大宗的设备是光刻机、等离子体刻蚀设备、薄膜沉积设备等。受益于全球缺芯背景下的扩产潮,下游晶圆厂对于光刻系统的需求仍在高点。

    财报显示,第三季度ASML共出货79台光刻系统,总量比上个季度多出7台;同期实现净利润17亿欧元,较上一季度增长67.6%,净销售额52.41亿欧元,较上一季度增长30.4%,多项业绩数据均创下历史纪录。同时该公司完成累计出货1000台ArF浸润式光刻系统的里程碑。

    面对旺盛的需求,沈波在谈及产能情况时介绍:“整个产业链正处于非常紧张的状态,在芯片制造设备供应商中,我们供货周期较长,这是由于光刻机相对复杂,并且客户对公司产品的需求相对更多。所以近年来公司扩产幅度在历史上前所未有,但扩产也面临了一定局限性。”

    由于供应链长,ASML的扩产不可避免地面临供应链原材料短缺问题的影响,其中,扩产瓶颈之一是需要高度精密加工的光学镜片。

    该镜片精度要求有多高?沈波举例,一款高精密的镜片大小约1平方米,但在测试时需将该镜片放大到接近德国国土面积大小,而其表面平整度的起伏不能超过1毫米;另一个相当的比方是,从地球上打一束光到月球,在月球表面的位置误差不能超过1元硬币大小。

    超高精度要求使得相关零部件制造流程异常复杂,这意味着,ASML的扩产需要供应商的配套跟进,比如供应商扩做镜片的材料、设备都需要有一定周期。ASML光刻设备的供应链是半导体产业的缩影,开放合作是发展的基石,目前公司有着数千家供应商,光刻设备约85%的零部件是与供应链共同研发。

    中国业务快速增长

    正所谓牵一发而动全身。“所以,供应链任何一个环节出问题都可能波及这个产业链供给的状态。这其实也是整个芯片产业面临的挑战,而不仅仅是ASML单一公司面临的问题。”沈波认为。

    芯片热还会持续多久?从半导体设备市场来看,国际半导体产业协会(SEMI)预测显示,2021年半导体设备市场将跃升至900亿美元,细分市场均实现20%以上的增长。随着电子产品需求的飙升,在数字化转型和其他长期技术趋势的推动下,2022年前端晶圆厂的全球半导体设备投资预计将达到近1000亿美元的新高。

    按地区来看,2022年韩国的晶圆厂设备支出将达到300亿美元,其次是中国台湾的260亿美元和中国大陆的近170亿美元。

    谈及中国大陆市场情况,沈波向记者介绍,市场增长得非常快,近年来,ASML每年发往中国大陆的光刻机台数约占总出货量的30%。

    中国业务快速发展的背后离不开本地创新人才的聚集。事实上,ASML和中国的渊源由来已久,最早一台光刻机于1988年进入中国,2000年,ASML在天津正式成立了分公司。

    目前,ASML已在中国设有14个办公室,11个仓储物流中心,2处开发中心,1个培训中心,共拥有1200多名员工,在中国大陆已为客户累计提供了近1000台装机。2021年,ASML开放了一百多个国内软硬件人才的职位,覆盖全方位光刻解决方案的各块业务。

    在回应发货是否存在优先级这一问题时,沈波指出:“行业其实很透明,ASML在所有条件允许情况下,对全球客户一视同仁。在中国,总部给我们的目标是如何支持好中国的客户。半导体行业是全球化融合程度非常高的行业,帮助中国的半导体产业即是在帮助全球。另一方面,客户获得良好发展与ASML自身发展是相辅相成的。”

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